石英舟插卸片机

产品亮点：·标准化机器人工作站，便于搭建、调试 ·石英舟移栽机构:采用双通道，双工位且切换石英舟不停机 ·硅片升降机构:采用伺服电机及驱动器，线性直线滑轨导向，精密丝杆光导纤维传感器精确控制保证吸片的稳定性 ·传送机构:全部采用伺服电机驱动，保证传输速度于停止精度 ·控制系统:采用高速率 PLC，实现全自动控制，上片过程中无需人工干预保证设备运行的稳定性和可靠性